晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。
半导体基础 之 晶圆(Wafer)
晶圆(Wafer)
是半导体晶体圆片的简称,为圆柱状半导体晶体的薄切片,用于集成电路制程中作为载体的基片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。最常见的是硅晶圆,另外还有氮化镓晶圆、碳化硅晶圆等;一般晶圆产量多为单晶硅圆片。
晶圆是最常用的半导体材料,按其直径分为2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸等规格,晶圆越大,同一圆片上可生产的集成电路(Integrated Circuit, IC)就越多,可降低成本;但对材料技术和生产工艺的要求更高,例如均匀度等等的问题,使得近年来晶圆不再追求更大,有些时候厂商会基于成本及良率等因素而停留在成熟的旧工艺。一般认为硅晶圆的直径越大,代表着晶圆厂有更好的技术,在生产晶圆的过程当中,良率是很重要的标准。
加工处理过后的晶圆
1.制造过程
柴可拉斯基法示意图
很简单的说,首先由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过切片、抛光之后,就得到了单晶硅圆片,也即单晶硅晶圆。
1.将二氧化硅矿石(石英砂)与焦炭混合后,经由电弧炉加热还原,即生成粗硅(纯度98%,冶金级)。SiO2 + C = Si + CO2 ↑
2.盐酸氯化并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅(半导体级纯度11个9,太阳能级7个9),因在精密电子器件当中,硅晶圆需要有相当的纯度(99.999999999%),不然会产生缺陷。
3.晶圆制造厂再以柴可拉斯基法将多晶硅熔解,再于溶液内掺入一小粒的硅晶体晶种,然后将其慢慢拉出,以形成圆柱状的单晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一颗小晶粒在融熔态的硅原料中逐渐生成,此过程称为“长晶”。这根晶棒的直径,就是晶圆的直径。
4.硅晶棒再经过切片、研磨、抛光后,即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片,就是“晶圆”(wafer)。
5.晶圆经多次光掩模处理,其中每一次的步骤包括感光剂涂布、曝光、显影、腐蚀、渗透、植入、刻蚀或蒸著等等,将其光掩模上的电路克隆到层层晶圆上,制成具有多层线路与器件的IC晶圆,再交由后段的测试、切割、封装厂,以制成实体的集成电路成品。一般来说,大晶圆(12英寸)多是用来制作内存等技术层次较低的IC,而小晶圆(6英寸)则多用来制作模拟IC等技术层次较高之IC,8英寸的晶圆的话则都有。
从晶圆要加工成为产品需要专业精细的分工。
6英寸 8英寸 12英寸
6英寸,8英寸,12英寸晶圆
2.著名晶圆厂商
英特尔(Intel)等公司自行设计并制造自己的IC晶圆直至完成并行销其产品。三星电子(Samsung)等则兼有晶圆代工及自制芯片业务。
晶圆基片制造厂商
晶圆基片制造商 |
公司总部所在地 |
信越(Shin-Etsu) |
日本 |
胜高科技(Sumco) |
日本 |
环球晶圆(Global Wafer) |
中国台湾 |
世创(Siltronic) |
德国 |
LG Siltron |
韩国 |
晶圆代工厂商
晶圆代工厂商 |
公司总部所在地 |
台积电(TSMC) |
中国台湾 |
三星(Samsung) |
韩国 |
格芯(GlobalFoundries) |
美国 |
联电(UMC) |
中国台湾 |
中芯国际(SMIC) |
中国上海 |
华虹集团(Huahong) |
中国上海 |
力积电(PSMC) |
中国台湾 |
世界先进(VIS) |
中国台湾 |
晶合集成(Nexchip) |
中国合肥 |
高塔半导体(Tower) |
以色列 |
封装测试厂商
封测厂商 |
公司总部所在地 |
日月光(ASE) |
中国台湾 |
安靠(Amkor) |
美国 |
长电科技(JCET) |
中国江苏 |
矽品(SPIL) |
中国江苏 |
力成(Powertech) |
中国台湾 |
通富微电(TF) |
中国江苏 |
天水华天(Huatian) |
中国甘肃 |
京元电(KYEC) |
中国台湾 |
南茂(ChipMOS) |
中国台湾 |
欣邦(CHIPBOND) |
中国台湾 |
3.多晶硅生产厂商
多晶硅生产厂商 |
公司总部所在地 |
通威 |
中国 |
Wacker |
德国/美国 |
大全新能源 |
中国 |
协鑫 |
中国 |
新特能源 |
中国 |
永祥股份 |
中国 |
东方希望 |
中国 |
OCI |
韩国/马来西亚) |
新疆大全 |
中国 |
亚洲硅业 |
中国 |
Hemlock |
美国 |
4.IC设计厂商
IC设计厂商 |
公司总部所在地 |
高通(Qualcomm) |
美国 |
英伟达(Nvidia) |
美国 |
博通(Broadcom) |
美国 |
联发科(MediaTek) |
中国台湾 |
超微(AMD) |
美国 |
联咏科技(Novatek) |
中国台湾 |
美满(Marvell) |
美国 |
赛灵思(Xilinx) |
美国 |
瑞昱半导体(Realtek) |
中国台湾 |
戴泺格半导体(Dialog) |
英国 |
内存厂商
内存厂商 |
公司总部所在地 |
三星(Samsung) |
韩国 |
海力士(Hynix) |
韩国 |
美光科技(Micron) |
美国 |
南亚科技(Nanya) |
中国台湾 |
5.生产设备
生产设备厂商 |
公司总部所在地 |
应用材料(AMAT) |
美国 |
阿斯麦(ASML) |
荷兰 |
泛林(LAM) |
美国 |
Tokyo Electron(TEL) |
日本 |
科磊(KLA) |
美国 |
爱德万测试(Advantest) |
日本 |
迪恩士(Screen) |
日本 |
日立高新(Hitachi High-Tech) |
日本 |
ASM国际(ASMI) |
荷兰 |
泰瑞达(Teradyne) |
美国 |